வில்லியனுாரில் பழம் பெருமை வாய்ந்த, கோகிலாம்பிகை சமேத திருக்காமீஸ்வரர் கோவில், திருக்குளத்துடன் சேர்ந்து ஐந்து ஏக்கர் பரப்பளவில் அமைந்துள்ளது. கோவிலின் நான்கு திசைகளிலும் வாயில்கள் உள்ளன. தெற்கு வாயிலில் 94 அடி உயரமுள்ள உயர்ந்த ஏழு நிலை கோபுரமும், பிற வாயிகல்கள் சிறிய கோபுரங்களை கொண்டு சிறப்புடன் விளங்கி வருகிறது. கோவிலில், சுவாமி வீதியுலா வரும் வகையில், நிலைத்தேர்கள் இருப்பது வேறெங்கும் இல்லாத தனிச்சிறப்பாகும். திருக்காமீஸ்வரர் தேர், 67 அடி உயரமும் 36 அடி அகலமும் கொண்டது. 84 டன் எடையுள்ள இத்தேரில் நான்கு இரும்பு சக்கரங்களும், இரண்டு மர சக்கரங்களையும் கொண்டது. அதேபோன்று, 33 அடி உயரத்தில் 21 அடி அகலமும் கொண்ட கோகிலாம்பிகை தேரும், 26 அடி உயரமும், 12 அடி அகலமும் கொண்ட விநாயகர் தேரும் உள்ளது.மூன்று தேர்கள் முழுவதும் மரத்தால் கட்டப்பட்ட நிலைத் தேர்களாகும். மூன்று தேர்களிலும் பல அழகிய சிலைகள், குதிரை, ஆலி, குரங்கு உள்ளிட்ட சிற்பங்கள் அழகாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. திருக்காமீஸ்வரர் கோவில் தேர் திருவிழா ஆண்டு தோறும் வைகாசி மாதம் சுவாதி நட்சத்திரத்தில் நடந்து வருகிறது. பிரெஞ்சு ஆட்சி காலத்திலிருந்து, இது வரை தேரோட்டத்தை, புதுச்சேரி மாநில கவர்னர் வடம் பிடித்து துவக்கி வைப்பது வழக்கமாக இருந்து வருகிறது. தேரோட்டத்தின்போது, கீழ வீதி தேர் நிலையில் இருந்து புறப்படும் தேர், கோவிலை சுற்றி நான்கு மாட வீதிகள் வழியாக வலம் வந்து, மீண்டும் நிலையை அடைகிறது. ஆயிரக்கணக்கில் பொதுமக்கள் திரண்டு, தேரை வடம் பிடித்து இழுத்து வருகின்றனர்.