வைகாசி பவுர்ணமியில் சிவபெருமானை வழிபடுவது சிறப்பு. இந்த பவுர்ணமி வழிபாட்டில் சிவபெருமானுக்கு அலரிப்பூ, செவ்வந்திப்பூ, செந்தாமரைப் பூக்களை மாலையாக அணிவித்து அர்ச்சிப்பார்கள். சிவபெருமானுக்கு மகிழம்பூ நிறத்தில் பட்டு வஸ்திரம் சாத்தி, எள் அன்னம் படைப்பார்கள். அன்று சிவபெருமானை நினைத்து கலச ஸ்தாபனம் செய்து யாக குண்டம் அமைத்து வழிபடுவர். குண்டத்தை தாமரை மலர் வடிவில் அமைப்பார்கள். அபிஷேகங்களில் சந்தானபிஷேகத்தை விசேஷமாகச் செய்வார்கள். அதனைத் தரிசித்தால் மகாலட்சுமியின் அருள் கிட்டும். வைகாசி விசாகத்தில்தான் முருகப்பெருமான் அவதரித்தார். இந்தப் புனித நாளில் விரதம் இருந்து வழிபட்டால், புத்திர பாக்கியம் இல்லாதவர்களுக்கு குழந்தைச் செல்வம் கிட்டும்.